由于在半導體等電子工業生產中的重要作用,電子特氣被稱為電子工業的“血液”
電子特氣下游主要應用包括半導體、顯示面板、光伏和LED。全球范圍內來看,半導體行業對電子特氣的需求占到總量的71%,顯示面板需求占到18%。在國內范圍中,半導體行業對電子特氣需求占到國內總需求的42%,顯示面板需求占到37%,這是由于我國的晶圓代工產業的發展稍顯滯后。
純度要求:
半導體行業使用的氮氣大多直接接觸電子零件,純度需要達到ppm,ppb等級潔凈度是控制粉塵粒徑小于0.1..0.05m,壓力露點-40℃℃...-70℃。
為了達到使用氮氣的標準,通常會在氣體傳輸到冷凍干燥機前端的氣體上安裝露點傳感器,也可以安裝在烘烤凈晶體前面,這樣可以更準確地監測氮氣運輸過程中的露點值,保持在極低的濕度,從而提高。
德國CS露點傳感器FA 510測量氣體中的微濕度,露點傳感器,在-80°CDP至+20℃DP測量范圍內氣體中的微量濕度。用于在線測量空氣和腐蝕性氣體中的含水量(露點),可編程開關輸出,用于報警信號,并對露點鏡進行校準。結構堅固可靠,防護等級高。
FA 515 Ex防爆設計,用于化學污染、冷凝等惡劣環境,非常適合工業工藝氣體供應或壓縮干燥機效率監測。
FA 505-德國CS露點傳感器,用于OEM應用
在半導體工業應用中,需要將氮氣的純度和清潔度控制在一定范圍內,也因為它會直接接觸,精細的加工工藝和微量水分的改善極大地影響了工藝中產品的產量。根據行業調査,25%以上的工業不良產品都是由于對低濕環境的無效控制造成的損害??梢钥闯?,在氣體供應和輸送系統的規劃中,與露點傳感器配合進行監控是一個不容忽視的重要環節;監控與工藝相結合,可以隨時監控反應物和產品的比例,完全燃燒幫助工廠節約成本。
我們為客戶提供氮氣純度檢測設備,壓縮空氣檢測儀等多款產品。