工業背景:
芯片制程微縮技術一直驅動著摩爾定律的延續。從1987年的1um制程到2015年的14nm制程,芯片制程迭代速度一直遵循摩爾定律的規律,即芯片上可以容納的晶體管數目在大約每經過18個月到24個月便會增加一倍。但2015年以后,芯片制程的發展速度進入了瓶頸期,7nm、5nm制程的芯片量產進度均落后于預期。全球領先的晶圓代工廠臺積電3nm制程芯片量產遇阻,2nm制程芯片的量產更是排到了2024年后,芯片制程工藝已接近物理尺寸的極限1nm。
芯片3D封裝,又稱為疊層芯片封裝技術,是指在不改動封裝體尺寸的前提下,在一個封裝體內的垂直方向疊放兩個以上芯片的封裝技術。
我國芯片產業發展迅速,封裝技術發展接近國際先進水平。
Particle檢測標準:
我們先從Particle的檢測來聊一聊。半導體潔凈室等級通常按照 來進行區分。在wafer to wafer level 形式的先進封裝工藝中,由于對整個wafer的共面性要求極高,工作區域的潔凈度控制甚至要比現在ISO 1級要求更高。ISO 1級要求每立方米不高于10個0.1微米的顆粒,而wafer to wafer level 先進封裝的工作區域潔凈度要小于5個0.1微米的顆粒,才能保障健康的良率。
那顆粒數量如何快速計算呢?
顆粒尺寸及數量分布通常有四種方法:Laser diffraction激光衍射(<0.1um-8750um), Dynamic Image Analysis 動態圖像分析(<1um-34000um),Ultrasonic Extinction超聲波消光(<0.1um-3000um),Dynamic Light Scattering 動態光散射(<0.5nm-10000nm)。
光學傳感器來檢測空氣中的微小顆粒Particle。當顆粒通過傳感器時,它們散射光線,這些散射的光線被計數并記錄。通過比較顆粒計數與預定的標準,可以確定潔凈度水平。
如果發現顆粒問題,進行追溯分析以確定顆粒的來源,并采取措施來防止再次發生。
上海京燦壓縮空氣質量檢測經驗豐富,除了Particle檢測,0.0001mg/m3的油含量,露點-80℃的檢測,均能檢測,更有多款壓縮空氣檢測儀可供選擇。